AMETEK程控電源事業(yè)部深耕半導體行業(yè)多年,為眾多半導體客戶提供多種產(chǎn)品和解決方案,例如半導體設備供電應用,電子器件的性能測試和老化測試應用,激光器件測試和激光器供電應用等。在半導體設備供電應用中,AMETEK程控電源有很多典型的案例。
金屬有機物化學氣相淀積(MOCVD)是生產(chǎn)LED 晶圓的主要方法之一。MOCVD設備是LED晶圓生產(chǎn)的重要設備。一套MOCVD設備中需要配備若干臺高功率電源設備為系統(tǒng)供應能量,且不同的系統(tǒng)部件需求不同功率等級電源設備。其制程長,要求供電設備穩(wěn)定可靠;實驗室空間有限,要求設備功率密度要高;可使用水冷或風冷設備。國際知名MOCVD廠家選購AMETEK SG系列/ASD FLX系列產(chǎn)品應用于MOCVD設備中,每年達數(shù)百臺。

AMETEK SG系列/ASD FLX系列產(chǎn)品應用于MOCVD設備中
離子注入機是集成電路制造前道工序中的關鍵設備之一,離子注入是對半導體表面附近區(qū)域進行摻雜的技術,其目的是改變半導體的載流子濃度和導電類型。客戶需求使用大功率高功率密度的直流電源設備為離子注入機提供電能激勵,其要求供電設備穩(wěn)定可靠,故障率低。某國內(nèi)知名離子注入機公司近年選購AMETEK SG15kW、SG20kW電源近百臺。

AMETEK SG系列產(chǎn)品應用于離子注入機設備中
固態(tài)照明/高亮度LED/溫濕度箱中的應用
在眾多的半導體設備中均會選購AMETEK程控電源產(chǎn)品,如固態(tài)照明設備/高亮度LED/溫濕度箱,皆因AMETEK程控電源產(chǎn)品穩(wěn)定可靠,體積小巧,性價比高。

AMETEK提供多種系列直流電源,滿足多種供電需求